複合多層構造の改善により耐荷重性能が向上 新プラズマ源採用で従来より低温処理が可能 量産時のプロセスの信頼性が向上 最大処理寸法φ350×500mm HV-DLC は先進のプラズマブースタースパッタリング (PBS) と … 続きを読む HV-DLC 高負荷対応