HV-DLC 高負荷対応

1. 複合多層構造の改善により耐荷重性能が向上
2. 新プラズマ源採用で従来より低温処理が可能
3. 量産時のプロセスの信頼性が向上
4. 最大処理寸法φ350×500mm

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HV-DLC は先進のプラズマブースタースパッタリング (PBS) とプラズマ CVD の
ハイブリッドプロセスによる DLC 硬質膜です。
新プラズマ源装置の導入により、HV-DLC シリーズの受託加工を開始しました

基本特性

商品名	膜種	硬さHIT(GPa)	ヤング率 Eʼ IT(GPa)	摩擦係数 ( 対鋼 )	標準膜厚(μm)	適応分野
HV-DLC-α	a-C:H	26	216	0.1-0.15	3～5	摺動部品・金型・治工具
HV-DLC-β	a-C:H	11	105	0.1-0.15	3～5	摺動部品・金型・治工具

試験結果

ファビリ焼付き限界荷重試験

基材への影響

＊上記数値より本処理は低温で行うため、基材に対して温度的な影響が極めて低い。